無機廢氣成份
無機廢氣按其性質分為有機廢氣、無機廢氣及含塵廢氣，有機廢氣如甲笨、二甲笨等,無機廢氣如HCl、H2S、NOX等，含塵廢氣如各種金屬冶煉過程中的氧化粉塵、礦石加工過程中的石粉塵等等。無機廢氣主要包括硫氧化物、氮氧化物、碳氧化物、鹵素及其化合物等。
無機廢氣處理技術
無機廢氣如HCl的處理一般用液體噴淋吸收處理。H2S亦用光解法處理。粉塵及其他氣體處理技術粉塵一般以旋風/布袋/靜電除塵為主，根據需要選擇不同的治理工藝。
臭氣和VOCs
異味氣體種類繁多，通常包括含硫、含氮、含氧及烴類等化合物，分為有機和無機兩大類，具體指：
（1）含硫化合物，如硫化氫、二硫化碳、硫醇、硫醚、甲基硫；
（2）含氮化合物，如氨、三甲胺、酰胺、吲哚等；
烴類：如烷烴、烯烴、芳香烴、鹵代烴；
含氧有機化合物：如醇、酚、醛、酮、有機酸等；
苯類：如苯、甲苯、二甲苯、焦化苯等。
常見惡臭氣體成分特性：
成份分子式特性
胺CH3NH2（CH3）N氣體，易溶于水，可溶于醇、醚、苯等有機溶劑，魚腥味；
氨NH3氣體，易溶于水，可溶于醇、醚、苯等有機溶劑，刺激性味；
甲硫醇CH4S氣體，不溶于水，可溶于醇、醚、苯等有機溶劑；
甲硫醚C2H6S液體，不溶于水，可溶于醇、醚、苯等有機溶劑；
硫化氫H2S氣體，易溶于水，可溶于醇、醚、苯等有機溶劑，臭雞蛋味；
二硫化碳CS2氣體，不溶于水，可溶于醇、醚、苯等有機溶劑，刺激性味；
針對臭味異味的處理，針對不同的廢氣成分要有針對性的選擇，比如易溶于水的應該使用水噴淋處理方案，對于含有復雜成分的廢氣比如硫化氫和氨氣及甲硫醚的廢氣就要使用水噴淋加光氧催化的綜合廢氣處理方案，通過水噴淋塔先處理一些溶于水的廢氣并除去粉塵和一些固體顆粒物、噴漆過程的漆霧、冶煉過程中的高溫煙霧、塑料造粒過程的黑霧等，然后光氧設備或等離子設備能處理掉其它芳香烴類和硫化氫等有機或無機廢氣。
目前由于工業廢氣的成分越來越復雜，單一的廢氣處理技術方法很難達到理想的處理效果。綜合兩種或兩種以上處理技術的設備因為占地空間小，處理效率高越來越受到相關專業人士關注。
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