薄膜晶體管液晶顯示器(Thin FilmTransistor-Liquid Crystal Display,TFT-LCD),近幾年在手機、電腦、電視、平板等行業廣泛應用。TFT-LCD生產工藝流程主要包括陣列(Array)、彩膜(Color Filter,CF)、成盒(Cell)、模塊(Module)四部分。Array、CF、Cell是排放氣體污染物的主要環節,目前TFT-LCD行業廢氣污染物排放采用《大氣污染物排放標準》(GB 16297—1996)和《惡臭污染物排放標準》(GB 14554—1993),而這兩個標準都已發布20多年,已嚴重滯后。2018年生態環境部發布了《電子工業污染排放標準》第二次征求意見稿[2],對TFT-LCD行業各項污染物的排放值進行了規定,相比于目前所采用的標準,廢氣中的污染物排放值要嚴格數倍不等,對于適應了近20年的低標準運行的TFT-LCD行業來說是一次挑戰。目前TFT-LCD廢氣處置研究文獻較少,本文對某TFT-LCD企業廢氣處置現狀進行研究,分析TFT-LCD行業目前廢氣處置技術所排放的污染物濃度與新標準之間的差距,為迎接新標準做好準備。
一、背景介紹
1.1行業發展現狀一直以來,全球液晶面板產業由三星、LG、夏普、友達、奇美五大巨頭控制,近年來,顯示行業在智能手機、平板電腦等消費類電子產品的推動下,產業規模持續擴大,國內液晶面板行業抓住機遇,突破技術封鎖,快速發展,并且從TFT-LCD調整產能投向OLED(有機發光二極管,Organic Light-Emitting Diode)。2010年,國內顯示面板產線(量產+在建+規劃)共21條,而截至2018年10月統計,中國內地已建和在建的TFT-LCD和OLED產線共有51條,共20家企業(見表1),總投資額達到12332億元人民幣。另外還有維信諾和群顯規劃建設OLED產線2條,華銳光電規劃建設TFT-LCD產線1條。
1.2工藝簡介
Array生產車間負責陣列基板的生產,包括玻璃基板清洗、化學氣相沉積、濺射、光刻、刻蝕、剝離等工序。Array工藝使用外購的專用玻璃基板,充分清洗后在其清潔干凈的表面上通過化學氣相沉積(CVD)的方法形成半導體膜或絕緣膜,通過濺射鍍膜的方法形成金屬膜。然后對柵電極及引線、有源層孤島、源漏電極及引線、接觸過孔、像素電極,經光刻膠涂敷、光刻膠曝光、顯影等光刻工藝并經濕法刻蝕、干法刻蝕后,剝離掉多余的光刻膠,經熱處理把半導體特性作均一化處理后即做成陣列玻璃基板。Array工藝中使用大量的化學品和特氣,產生大量VOCs和廢氣,是整個生產過程中污染物的重要來源。CF是TFT-LCD的重要組成部分,CF的質量直接影響TFT-LCD性能。CF基本結構是由玻璃基板(Glass Substrate)、黑色矩陣(Black Matrix)、彩色層(Color Layer)、保護層(Over Coat)及ITO導電膜組成。Cell生產車間負責制屏工序,即負責配向膜(PI)涂敷、固化、摩擦、封框膠及導通材涂布、液晶滴下、紫外及熱固化、切割、磨邊、測試等各工序的生產。Module車間負責模塊的生產,包括偏光片貼敷、TCP焊接、PCB焊接、焊接檢查、老化、返修、自動包裝等工序。
二、廢氣排放
對某TFT-LCD工廠進行研究,根據各生產環節,所產生的廢氣主要有酸性廢氣、堿性廢氣、有毒廢氣、有機廢氣以及一般工業排氣,詳細記錄見表2。
三、處置結果及討論
根據表2,將TFT-LCD排放的廢氣分為酸、堿、有毒、有機共四個系統。
3.1酸、堿性廢氣處置結果
酸、堿性廢氣處理系統(見圖1)是通過添加化學品到各洗滌塔中,通過噴淋水泵進行循環,利用填料增加廢氣與循環液的接觸面積,達到酸堿中和,實現廢氣達標排放。堿排洗滌塔,通過添加50%H2SO4去除氨等主要堿性廢氣,氨的去除效率可達90%以上。酸排洗滌塔,通過添加30%NaOH、12%Na2S及10%的NaClO2去除酸性廢氣。該系統氮氧化物的總去除效率可達65%、氯化氫的總去除效率可達90%、硫酸的總去除效率可達94%、硝酸的總去除效率可達94%、磷酸總去除率可達99%酸、堿性廢氣噴淋洗滌塔的溶液循環使用并定期排放,全部納入廢水處理站含氟廢水處理系統進行處理。對酸排中的氮氧化物、氯化氫、硫酸霧以及堿排口中的氨進行檢測(表3是檢測值),堿排放口中氨的12個檢測數據中,9次未檢測出氨,檢測值中,最大值2.7mg/m3,最小值0.7mg/m3。酸、堿性廢氣處置后排放值可以滿足《大氣污染物排放標準》(GB 16297—1996)中表2的二級標準和《惡臭污染物排放標準》(GB14554—1993)中表2的標準要求。
3.2有毒廢氣處置結果
有毒廢氣主要來自化學氣相沉積(CVD)和干法刻蝕(DE)等工序中使用SiH4、NH3、PH3、NF3、SF6、N2O、Cl2等特殊氣體,除部分在工藝中反應消耗外,少量以尾氣的形式排放,主要污染物為氯氣、氨氣、氯化氫、氟化物、氮氧化物等。毒排廢氣采用電除塵+酸堿中和的形式(見圖2),各項指標都有90%以上的去除率,能夠使廢氣中的污染物達標排放。對處置后煙氣中的氮氧化物、氟化物、氨、氯氣、氯化氫進行檢測(見表4),各污染物排放值均達到《大氣污染物排放標準》(GB 16297—1996)中表2的二級標準和《惡臭污染物排放標準》(GB 14554—1993)中表2的標準要求。
3.3有機廢氣處置結果
有機廢氣來源于Array的掩膜光刻、光刻膠剝離工序,CF/Cell/Module工程的涂膠、RGB再生以及設備的擦試等。Array有機廢氣的主要成分為丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)、乙酸丁酯和乙醇胺等;CF有機廢氣的主要成分為丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)、丙二醇單甲醚(PGME)、3-乙氧基丙酸乙酯(EEP)、環己酮等有機物;Cell有機廢氣的主要成分為N-甲基吡咯烷酮(NMP)、丙酮等,而這些污染物最大的特點是濃度值低,對人體有一定的危害性[7]。有機廢氣處理主要通過沸石轉輪,將大風量低濃度有機廢氣進行吸附后排放,通過高倍數濃縮再生成小風量高濃度氣體,送入燃燒爐中焚化燃燒,處理效率為95%,最終達到去除有機物的目的。圖3是有機廢氣處置后排放的非甲烷總烴的排放值,均滿足《大氣污染物排放標準》(GB 16297—1996)中表2的二級標準。
3.4討論
2018年3月生態環境部發布了《電子工業污染排放標準》第二次征求意見稿,對顯示器件行業中污染物的排放指標做了嚴格的規定,氮氧化物:100mg/m³、氯化氫:15mg/ m³、硫酸霧:10mg/ m³、氟化物:5mg/ m³、氯氣:5mg/ m³、氨:30mg/ m³、非甲烷總烴:100mg/ m³。相比于《大氣污染物排放標準》(GB 16297—1996),各項指標的排放值更加嚴格。如果按征求意見稿中的排放值,從表3、表4中可得知,酸排中氮氧化物6月、7月檢測為113mg/ m³和148mg/ m³,毒排2月氮氧化物排放值為122mg/ m³,1月和12月氯氣的檢測值分別為10.8和11mg/m³。相對于征求意見中新標準限值,氮氧化物和氯氣都有超標。這對于TFT-LCD行業廢氣中污染物的排放提出了更高的要求。征求意見稿還對顯示器件行業新增了污染因子排放指標(磷化氫1mg / m³和砷化氫1mg / m³)以及有機特征污染物(三氯乙烯1mg/ m³、苯4mg/ m³、甲醛5mg/m³、甲苯25mg/ m³、二甲苯40mg/ m³)。但這些指標目前TFT-LCD行業研究幾乎是空白。為了迎接即將發布的新標準,TFT-LCD行業的污染處理設施,勢必要進行提標改造。
四、結論
(1)TFT-LCD行業廢氣中主要排放的污染物來源于Array車間,其次是CF和Cell車間,主要通過酸、堿性廢氣處理系統,有毒廢氣處理系統和有機廢氣處理系統進行處置。
(2)TFT-LCD行業廢氣排放的污染物滿足《大氣污染物排放標準》(GB 16297—1996)和《惡臭污染物排放標準》(GB 14554—1993)的要求,但氮氧化物和氯氣,偶爾排放值偏高,需要提標改造,以滿足即將發布的《電子工業污染排放標準》。
(3)《電子工業污染排放標準》新增一些廢氣排放污染物,如三氯乙烯、磷化氫、砷化氫、苯、甲醛、甲苯、二甲苯等,而這些污染因素在TFT-LCD行業研究中缺乏,是今后研究工作的重點。
來源:環保
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