活性炭吸附劑達到吸附飽和或接近飽和時，要對其進行脫附，脫附的方式有多種方法可供選擇。利用活性炭吸附VOCs多采用低壓水蒸氣脫附的方法蒸汽溫度一般在120℃以下，水蒸氣脫附有多種優點。經過水蒸氣脫附的活性炭層（一般指顆粒活性炭）要經過熱空氣干燥再生，以恢復其吸附活性。在吸附高溫蒸氣的場合，可以不單獨設立熱空氣系統。采用水蒸氣脫附時還應考慮吸附質的性質，有些VOCs被活性炭吸附后用水蒸氣脫附困難（如下表所列），則應考慮其他脫附方法如脫附溫度更高的熱空氣（一般也不會超過120℃）、熱氮氣脫附等或利用其他VOCs治理工藝。
難以從活性炭中脫附出去的VOCs

常規的兩床活性炭吸脫附-蒸汽脫附系統：

在用此類工藝時，不容易脫附的VOCs，其實不宜用本工藝進行處理。
來源：環保