有機廢氣催化燃燒是采用低溫氧化技術，即在貴金屬催化劑作用下，將有機氣體加熱到分解溫度使氣體凈化。在高濃度低風量廢氣環境下使用效果好。有機廢氣催化燃燒裝置是典型的氣固相催化反應，其實質是活性氧參與的深度氧化作用。在催化凈化過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑表面具有吸附作用，使反應物分子富集于表面提高了反應速率，加快了反應的進行；借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量熱能，從而達到去除廢氣中的有害物。
有機廢氣催化燃燒工藝：
在將廢氣進行催化凈化的過程中，廢氣經管道由風機送入熱交換器，將廢氣加熱到催化燃燒所需要的起始溫度。經過預熱的廢氣，通過催化劑層使之燃燒。由于催化劑的作用，催化燃燒法廢氣燃燒的起始溫度約為250～300攝氏度，大大低于直接燃燒法的燃燒溫度650～800攝氏度，高溫氣體再次進入熱交換器，經換熱冷卻，終以較低的溫度經風機排入大氣。
有機廢氣催化燃燒設備優點：
1、起燃溫度低，節省能源，能耗低
有機廢氣催化燃燒與直接燃燒相比，具有起燃溫度低、能耗低的顯著特點。在某些情況下，催化燃燒達到起燃溫度后便無需外界供熱。燃燒不受碳氫化合物濃度的限制。設備啟動僅需 15-30 分鐘升溫至起燃溫度(有機廢氣處理濃度較高時)耗能僅為風機功率。
2、適用范圍廣
催化燃燒裝置幾乎可以處理所有的烴類有機廢氣及惡臭氣體。對于有機化工、涂料、絕緣材料等行業排放的低濃度、多成分、無回收價值的廢氣，采用吸附--催化燃燒法的處理效果更好。
3、處理效率高，無二次污染
用催化燃燒法處理有機廢氣的凈化率一般都在95%以上，終產物為無害的CO2和H2O (雜原子有機化合物還有其他燃燒產物)，且由于燃燒溫度低，能大量減少NOX的生成，因此不會造成二次污染。
4、操作方便、安全可靠
設備工作實現自動控制，安全可靠，設備配有阻火系統、防爆泄壓系統、超溫報警系統及先進的自控系統；占地面積小，且設備基礎無特殊要求。
有機廢氣催化燃燒設備缺點：
雖然催化燃燒法處理效率高，但工藝條件要求嚴格，不允許廢氣中含有影響催化劑壽命和處理效率的塵粒和霧滴，也不允許有使催化劑中毒的物質，以防催化劑中毒，因此采用催化燃燒技術處理有機廢氣必須對廢氣作前處理，工程項目投入成本高；同時因處于高溫環境下，管道、設備很容易損壞，如果蓄熱體產生結塊，則使用壽命將大大縮短。
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